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新型陶瓷和金属焊接工艺在陶瓷真空室研制中的

更新时间:2019-07-07

  新型陶瓷和金属焊接工艺在某研究所新一代高能粒子加速设备研制过程中得到了核心级应用,晟元新材接受客户委托进行陶瓷真空室部分的技术原型开发。新型的陶瓷真空室采用跑道型设计,为进一步减小真空室内腔表面和结构形状对气体分子的吸附及真空阻滞性,我们进行了如下设计:对金属部分进行真空镀宝石薄膜,基本杜绝金属部分对氢分子的吸附和渗透;对陶瓷内腔进行金属镀膜,该金属镀膜采用多层活性反应层设计,金属膜和陶瓷具有原子扩散结构,以陶瓷真空室在后续多次的烘烤过程中金属膜不会脱落;金属膜通过光刻实现制作精密图形;通过精确的金属原子配方工艺实现低磁导率;通过设计陶瓷和金属优化的应力匹配设计,新型陶瓷和金属焊接工艺,使陶瓷真空室可以承受后续工作过程的热冲击而不泄露。

  新型陶瓷和金属焊接工艺加工的陶瓷真空室技术原型样机实现了静态线Pa。返回搜狐,查看更多

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